薄膜沉积和扩散工艺---山东博华电子科技发展有限公司

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金属膜工艺

溅射Ti、Pt、Au、Al、Cu、Cr
溅射AlN、TiN、ITO
蒸发Ti、Pt、Au、Al、Ni、Cr
电镀Au、Cu、Ni、合金

薄膜工艺

热生长SiO₂
LPCVD 生长SiN
LPCVD 生长SiO₂
LPCVD 生长Poly Si
PECVD 沉积SiO₂
PECVD 沉积 SiN

掺杂注入

硼注入
磷注入
硼扩散
磷扩散

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